PLR3000光纖激光干涉尺分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
GTS大尺寸空間坐標激光跟蹤儀具有測量范圍大、精度高、功能多、可現場測量等優點,已經發展出三自由度激光跟蹤儀和六自由度激光跟蹤儀家族系列,可以和多種形式的合作目標測頭配合使用。
PLR3000工業激光尺測量儀具有更加精確的柵距和更高的分辨率,同時其熱源隔離設計,保證了更高的穩定性,具有安裝快捷,易于準直等特點??筛鶕脩粜枨?,配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實現多軸測量或多自由度測量
GTS系列激光追蹤儀檢測設備具有測量范圍大、精度高、功能多、可現場測量等優點,取代了大型固定式三坐標測量機、經緯儀、全站儀等許多傳統測量設備,在設備校準、部件檢測、工裝制造與調試、集成裝配和逆向工程等應用領域顯示出高測量精度和效率。
PLR3000超高分辨率激光尺分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
GTS激光三維坐標定位跟蹤測量儀具有測量范圍大、精度高、功能多、可現場測量等優點,取代了大型固定式三坐標測量機、經緯儀、全站儀等許多傳統測量設備,在設備校準、部件檢測、工裝制造與調試、集成裝配和逆向工程等應用領域顯示出高測量精度和效率,激光跟蹤儀已成為大尺寸精密測量的主要手段。